고온 초전도 YBa₂Cu₃O_7-x 계단형 모서리 접합의 이중접합 특성

 (001) SrTiO₃ (STO) 기판위에 고온초전도 YBa₂Cu₃O_7-x (YBCO) 박막을 이용한 계단형 모서리 입계접합을 제조하였다. STP (100) 단결정 기판위에 계단형 모서리 (step-edge)를 제작하기 위한 이온밀링 마스크로 plasma enhanced chemical vapor deposition방법으로 증착된 diamond-like carbon (DLC) 박막을 사용하였고, oxygen reactive ion etch방법으로 건식 식각하였다. 이렇게 제작된 계단형 모서리 기판위에 c-축 수직한 YBCO 박막과 STO 박막을 pulsed laser deposition 방법으로 에피텍셜하게 증착하였다. 계단의 상층과 하층에서 모두 입계가 형성되었으며 이 접합의 임계온도는 77K 이상이었고 16K에서 I_cR_n product가 7.5 mV, 77K에서 0.3mV의 값을 나타내었다. 이들 접합의 전류-전압 특성은 two noisy resistively shunted Josephson junction  모델을 잘 만족하였다.